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【W系列—弧高币安钱包下载】
专利号:ZL201120280620.7
探测系统:
显微探头:实现快速弧高及台阶测量,可测弧高台阶范围50~2000μm(一般弧高的高度不超过800μm),并支持器件几何尺寸测量;
激光探头:
实现快速台阶测量,可测台阶范围2~500μm,并支持表面轮廓扫描。
系统配置:
用途 |
1.弧高测量 2.台阶测量 3.器件尺寸测量 |
型号 |
WB-70RX |
载物台 |
全自动载物台
行程:105mm X 105mm
支持夹具定制 |
聚焦 |
电动聚焦系统,解析率:1.0μm
显微探头:含影像自动聚焦及特有双ROI长焦扫描功能
激光探头:含影像辅助定位功能 |
照明系统 |
环形、同轴照明可选 |
软件系统 |
图像处理软件系统,
带虚拟弧高算法功能及SPC控制模块 |
检查性能 |
显微探头:高度测量3σ≤3.0μm,精度±3um;
激光探头:高度测量3σ≤0.2μm,精度±0.2um; |
标配外观尺寸 |
长:800mm 宽:750mm 高:1500mm |